특징
　▣ MEMBRANE(diaphragm)과 Air의 특성을 결합시킨 매우 우
   수한 제진장치이다.
　▣ 고유진동수가 최저 1.2Hz로서 뛰어난 최고 99%의 제진효율
   을 자랑한다.
　▣ 기계의 수평을 자동적으로 조정할 수 있도록 AUTO LEVLE
   CONTROLLER를 설치하여 1/100mm 까지의 정밀한 수평을
   조정할 수 있다.
　▣ 알루미늄 BODY, SAFETY VALVE 등의 설계로 내구성이 뛰
   어나다.
　▣ Passive Isolation System과 Semi Active Isolation    System에 적용된다


　 APPLICATION
　▣ 반도체 제조 (ASSEMBLY 장비, FAB 장비)
　▣ 검사장비 (LCD, 반도체, PCB, FILM etc)
　▣ 전자현미경,삼차원측정기,조도측정기,광학현미경등
　 정밀측정장비
　▣ ENGINE DYNAMOMETER 등 자동차부품관련 TEST 장비
　▣ 정밀가공기계
　 (LASER,JIG BORING M/C, CNC GRINDING M/C etc)

Passive Isolation System
▣ BIAIR Member Air Spring Mount에 Mechanical Pneumatic Control Valve를 적용하여 기계적으로 수평을 조절하는 제진시스템이다.
Active type 또는 Semi-active type 보다 반응속도가 떨어지나 상부 BASE에서의 이송속도로 인한 관성력을 충분히 억제할 수 있는 장비에 일반적으로 가장 널리 이용 된다.
   
Semi-active Isolation System
▣ BIAIR Member Air Spring Mount에 Mount에 Electro-pneumatic Positioner/controller를 적용하여 전자적으로 수평을 조절하는 제진시스템이다.
Passive type에 비하여 반응속도가 2배 이상 빠르며 Software에 의해 조절되는 시스템으로서 장비의 특성에 맞게 능동적으로 제어가 가능하다.
장비의 특성에 따라서 Active Isolation System이 필요한 장비에도 적용이 가능하며 매우 경제적으로 적용할 수 있다.

TYPE
ФA mm
B mm
ФC mm
workheight
H mm
max.
load daN at max.
6 bar
natural frequency Hz(vertical) approx.
natural frequency Hz(horizontal) approx.
BiAir 0.15-ED
76
72
72
69
80
2.5
2.5
BiAir 0.25-ED
110
182
110
87
140
2.5
2.5
BiAir 0.5-ED
120
216
129
157
340
2.5
2.5
BiAir 1-ED
172
288
200
157
750
2.5
2.5
BiAir 1-ED/HE
172
288
200
307
750
1.5
2.5
BiAir 2-ED
226
335
260
157
1800
2.5
2.5
BiAir 2-ED/HE
226
335
260
307
1800
1.5
2.5
BiAir 2.5-ED
271
378
300
157
3000
2.5
2.5
BiAir 2.5-ED/HE
271
378
300
307
3000
1.5
2.5
BiAir 3-ED
348
467
382
157
4900
2.5
2.5
BiAir 3-ED/HE
348
467
382
307
4900
1.5
2.5
BiAir 4-ED
490
605
530
157
9500
2.5
2.5
BiAir 4-ED/HE
490
605
530
307
9500
1.5
2.5
BiAir 5-ED
747
815
760
157
23000
2.5
2.5

 
 
         
 
 
         
 
 
         
▲ Engine Testing field mounted on BiAir® 1-ED with mechanical - pneumatic controller
 
▲ 3D measuring machin type Carmet mounted on BiAir® 2-ED with electro-pneumatic controller
     
 
▣ BiAir
　 Mechanical-pneumatic
　 control valves		   ▣ BiAir
　 Electro-pneumatic
　 Positioner/controller