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AIS SYSTEM은 고속이동장치를 탑재한 고정밀 장치를 외부진동으로부터 보호하고 장비의 원활한
운영을
도모하기 위하여 개발된 첨단 제진시스템이다. AIS SYSTEM은 어떠한 까다로운 조건에서도
적용이 가능하며
기존의 다른 제진시스템과는 구별되는 뛰어난 제진성능 및 위치제어능력을 발휘한다.
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 AIS
DESIGN |
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| Controller
SPC-LC |
19" AirBox-A1 |
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| Transmissiblity
of AIS™ |
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| 특징 |
▣ AIS™는 6자유도 진동을 제어할 수 있는 ACTIVE 제진시스템이다.
▣ AIS™는 Natural Frequency (Vertical, Horizontal)가 1Hz이고
공진대역이 발생되지 않는다.
▣ AIS™는 수직 수평방향의 뛰어난 수평정밀도를 유지한다.
▣ AIS™는 Reaction Time이 매우 빠르다. 따라서 고속 이동하는 X-Y STAGE를 이용한
장비에 적용이 가능하며 in-line align 장비에도 적용이 가능하다.
▣ 각각의 Controller는 Microprocessor와 Position, Air Pressure
및 Acceleration을 감지하는 통합된 High Resolution Sensor로
구성되어 있다.
▣ AIS™ 설치 및 AIS™의 성능을 극대화하기 위하여 사용되는 지능화된 WinSNI-Software는
운영및 시스템 진단이 용이하다.
▣ 설치 전후의 진동을 다양하게 해석할 수 있도록 모니터링이 가능하다.
▣ 장비의 가동시 AIS SYSTEM의 반응상태를 실시간으로 확인 할 수 있다.
▣ 투자비용을 신축적으로 적용 할 수 있다.
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| Application |
▣ Wafer Inspection Machine
▣ Optical Inspection Machine
▣ PDP ITO, SiO Inspection Machine
▣ FPD Repair, Probe, Measuring Machine
▣ Photoresist & Critical Dimension Inspection Machine
▣ Electro Beam Lithography Equipment
▣ Dispensing & Coating Machine
▣ Laser Glass Cutting Machine
▣ Stepper
▣ 2-D or 3-D Measurement Machine
▣ 3-D Surface profiling Machine
▣ SEM, TEM, AFM, FEM, STM etc
▣ Spectrometer
▣ X-Y Stage 응용분야
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| ▼ ComPassPRO Waver inspection
Machine |
▼ Flat Panel Machine |
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